工作臺尺寸                                1200*1000 mm
工作臺行程                                 950*850*650 mm
精密定位精度XYZ                      0.007mm
精密定位精度A軸位置公差         9 w s

精密定位精度C軸位置公差         7 w s

工作臺行程xyz                        1100/600/600mm
定位精度                                 ±0.005/300 mm
重復定位精度                          ±0.003/300 mm

工作臺行程xyz                     700/400/300mm

定位精度                              0.007/0.005/0.005mm

重復定位精度                       0.004/0.003/0.003mm

工作臺行程xyz                       800/500/550mm

定位精度                                ±0.005/300mm

重復定位精度                         ±0.003/300mm